ABSTRAK Penumbuhan film tipis FZO telah berhasil dilakukan dengan metode spray pyrolysis sederhana menggunakan alat nanospray. Film tipis ditumbuhkan pada substrat ITO (Indium Tin Oxide) dengan struktur metal-semiconductor-metal (MSM). Karakteristik film tipis ZnO meliputi struktur morfologi, sifat optik, struktur kristal dan sifat listrik. Hasil citra SEM menunjukkan bahwa beda pelarut dapat …
Zinc Oxide (ZnO) merupakan material semikonduktor yang ideal diaplikasikan pada optoelektronik seperti fotodetektor karena memiliki celah pita energi yang lebar, memiliki sensitivitas dalam daerah UV, serta energi ikat eksiton yang tinggi yaitu 60 meV. Penumbuhan film tipis ZnO selama ini cenderung memerlukan biaya yang tinggi, namun pada penelitian ini telah dibuat film tipis ZnO mengguna…
Fotodetektor merupakan divais penting pada hampir seluruh perangkat optoelektronika yaitu pada sistem listrik dan optik. Fotodetektor UV berbasis ZnO telah banyak diteliti dengan hasil sensitivitas yang tinggi. ZnO didoping Fe dilakukan untuk meningkatkan sifat optik dan listrik. Fabrikasi film tipis FZO telah dilakukan dengan metode spray pyrolysis sederhana dengan penggunaan alat nanospr…