ABSTRAK Penumbuhan film tipis FZO telah berhasil dilakukan dengan metode spray pyrolysis sederhana menggunakan alat nanospray. Film tipis ditumbuhkan pada substrat ITO (Indium Tin Oxide) dengan struktur metal-semiconductor-metal (MSM). Karakteristik film tipis ZnO meliputi struktur morfologi, sifat optik, struktur kristal dan sifat listrik. Hasil citra SEM menunjukkan bahwa beda pelarut dapat …